據(jù)正定發(fā)布10月12日披露，本月初，杭州晶馳機(jī)電科技有限公司（晶馳機(jī)電）完成由河北正茂產(chǎn)業(yè)投資有限公司（正定縣政府產(chǎn)業(yè)投資基金）領(lǐng)投的數(shù)千萬首輪融資，第三代、第四代半導(dǎo)體材料裝備研發(fā)生產(chǎn)項(xiàng)目正加速推進(jìn)建設(shè)進(jìn)度，有望在十月下旬投產(chǎn)。

晶馳機(jī)電生產(chǎn)基地項(xiàng)目總投資2億元晶馳機(jī)電是浙江大學(xué)杭州國際科創(chuàng)中心先進(jìn)半導(dǎo)體研究院孵化企業(yè)，2021年6月成立，致力于碳化硅、金剛石、氮化鋁等第三、四代半導(dǎo)體材料裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和應(yīng)用推廣。目前公司主要產(chǎn)品有：六英寸和八英寸碳化硅外延設(shè)備（LPCVD法）、金剛石單晶生長及外延設(shè)備（MPCVD法）、氮化鋁晶體生長設(shè)備（PVT法）、碳化硅粉料合成設(shè)備、碳化硅晶錠及晶片退火設(shè)備和碳化硅晶片氧化設(shè)備。

公司在第三代、第四代半導(dǎo)體材料裝備方面產(chǎn)品線豐富，具備提供整套材料制造解決方案的能力。水平雙腔碳化硅外延設(shè)備微波等離子體沉積系統(tǒng)（裂縫天線耦合）晶馳機(jī)電半導(dǎo)體材料裝備研發(fā)生產(chǎn)項(xiàng)目于今年7月落地河北正定縣，目前已經(jīng)完成了廠房的基本改造，展廳的搭建、辦公室的搭建以及凈化生產(chǎn)車間的搭建。

公司目標(biāo)是力爭在未來幾年內(nèi)成為我國三代、四代半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，加速推動我國半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化進(jìn)程。