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蘭州大學(xué)研究團(tuán)隊在日盲光電探測器件方面突破“RS困境” 實現(xiàn)高性能光電探測

發(fā)表于:2025-03-13 來源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 編輯:

?近日,蘭州大學(xué)物理學(xué)院青年研究員張澤民,聯(lián)合李穎弢教授,中科大趙曉龍教授、龍士兵教授,在寬禁帶半導(dǎo)體光電探測領(lǐng)域取得重要進(jìn)展,成功開發(fā)了一種同時具備超快、超靈敏響應(yīng)的Ga2O3日盲光電探測器(SBPD)。該研究以“Ultra-Fast Gallium Oxide Solar-Blind Photodetector with Novel Thermal Pulse Treatment”為題發(fā)表在材料領(lǐng)域期刊《Advanced Materials》,駱莉莉博士為第一作者。

日盲光電探測器在火焰預(yù)警、安全通信、快速目標(biāo)成像和環(huán)境監(jiān)測等關(guān)鍵領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。Ga2O3?作為一種超寬禁帶材料,因其優(yōu)異的耐高溫、抗輻照特性,被認(rèn)為是下一代高性能SBPD的理想候選材料。然而,Ga2O3?光電探測器普遍面臨“RS困境”,即如何在保持高響應(yīng)度(Rλ)的同時提升響應(yīng)速度。

本研究創(chuàng)新性地提出了一種熱脈沖(TPT)方法,通過精準(zhǔn)調(diào)控Ga2O3薄膜中的溫度分布,成功形成了垂直分層的晶體結(jié)構(gòu)和氧空位(VO)分布,實現(xiàn)了對載流子生成與輸運路徑的優(yōu)化。TCAD模擬進(jìn)一步驗證了VO分層結(jié)構(gòu)在提高Rλ和響應(yīng)速度方面的關(guān)鍵作用。實驗表明,經(jīng)過TPT處理的Ga2O3??SBPD在254 nm的紫外光照射下具有增強(qiáng)的性能,最高Rλ達(dá)到312.6 A/W,衰減時間縮短至40 μs,顯著優(yōu)于傳統(tǒng)處理方式。

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圖1:在a)TPT之前和b)TPT之后薄膜分層結(jié)構(gòu)及載流子傳輸路徑。c)成品芯片制備以及大面積陣列的詳細(xì)示意圖。d)室外高壓電弧放電檢測。

基于該技術(shù),研究團(tuán)隊成功制備了高性能Ga2O3?SBPD芯片,并在日盲成像、光軌跡跟蹤和日盲功率計等應(yīng)用中展現(xiàn)出卓越性能。其中,10×10像素的探測芯片實現(xiàn)了高對比度太陽盲成像,可實時追蹤光斑運動路徑,展現(xiàn)出良好的環(huán)境適應(yīng)性。此外,基于該光探測器,研究團(tuán)隊開發(fā)了一種便攜式日盲UV探測設(shè)備,在高壓電弧放電檢測中表現(xiàn)出優(yōu)異的日盲識別能力,為未來高靈敏深紫外探測應(yīng)用提供了新的技術(shù)支撐。該研究成果有望推動高性能紫外光探測技術(shù)的應(yīng)用,包括深空探測、高精度火焰監(jiān)測和先進(jìn)光通信系統(tǒng),為新一代高效光電探測技術(shù)的發(fā)展奠定堅實基礎(chǔ)。

該項研究得到了國家重點研發(fā)計劃,國家自然科學(xué)基金和甘肅省重點研發(fā)計劃等項目的資助。

文章鏈接:https://doi.org/10.1002/adma.202414130

(來源:蘭州大學(xué))

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